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無錫施耐爾電子設備有限公司

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智能HMDS真空烘箱

HMDS 預處理真空系統通過對箱體內預處理過程的真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液等程式過程，參數控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
二、產品特點：

1.控制界面：采用日本三菱 PLC+7寸觸摸屏控制系統，程式化運行，溫度系統，真空系統，充氮系統，HMDS 注液系統。

2.控制模塊：控制模塊是本系統的核心模塊，它的作用是控制各個模塊的動作和時序，完成整個工藝過程。

3.內膽材質：整個系統采用優質醫用級316L不銹鋼材料制作，無發塵材料，適用百級光刻間凈化環境。

4.密封裝置：密封條為高溫硅膠制作，可耐溫不變形，門與箱體連接密封，加強密封效果。

5.加熱裝置：加熱器采用SUS304#被覆無塵化SHEATHED HEATER壽命長且無污染，依據使用溫度調整控制,節約能源。

6.加熱方式：采用無觸點SCR固態繼電器控制每段溫區發熱管輸出功率大小，接近恒定溫度時，加熱電流變小，使其恒定溫度。

7.底部結構：萬向移動福馬一體承重腳輪，固定好位置可落下支撐腳，方便移動及固定

8.可視窗：采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。

9. 溫度傳感器采用日制 PT100 鉑金電阻，精度±0.5%，反應靈敏，耐高溫。

10.真空系統：雙旋片真空泵、真空組件、壓力測量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余 HMDS 蒸汽。

11.充氮系統：作用是在置換過程中，用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛，氮氣流量，充入時間可控制。

12.HDMS 注液系統：HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，配置不銹鋼藥液管道，使真空箱密封性能極好。

13.保護系統：相序保護，漏電保護，過載保護，控制線路，超溫保護，壓力過載保護，急停開關，工作狀態指示燈。

型號規格參數：